美国MICRO-CHEMSU-820022015光刻胶

MicroChem负性环氧树脂抗蚀剂

MicroChem环氧树脂抗蚀剂由化学放大的环氧基负性抗蚀剂组成，它们具有高度功能性，光学透明性和可接近UV（365nm）辐射的可成像。固化膜或微结构是对溶剂非常抵扣的，酸和碱以及具有的热稳定性和机械稳定性，使其非常适合制造性结构，如像素墙，流体通道和喷嘴，微阵列和间隔物。

SU-8 2000 Serise 

SU-8 2000化学放大，i线抗蚀剂非常适合制造性器件结构。 这些负色调，环氧基抗蚀剂表现出的耐化学性和低的杨氏模量，使其成为制造微/纳米结构的理想选择，如悬臂，膜和微通道。

SU-8 3000 Series

SU-8 3000已被配制用于改进的粘合性和降低的涂层应力。它被用于需要高结合强度和改进的微结构制造柔性的地方。 结果，大大提高了与基板的粘合性。